高阻尼空氣隔振系統(tǒng)MaxDamp

MaxDamp®將Gimbal Piston空氣隔振器與內部防篡改粘性阻尼相結合，為此類應用提供了額外的阻尼。MaxDamp雖然不能提供我們UltraDamp系列的主動、最高阻尼，但當需要較高阻尼時，它卻是一個好的選擇，其減振性能只略有減弱。MaxDamp適用于需要快速穩(wěn)定有效載荷的高力、高速XY電動工作臺的有效載荷。適用于半導體檢測、光刻機以及其他具有相對較高力的電動工作臺的儀器。

優(yōu)點：

結合了自調平Gimbal Piston™空氣隔振器的優(yōu)勢，并具有高阻尼作用

非常適合具有機器人運動或電動工作臺的有效載荷，可提供所需的隔振并主動穩(wěn)定有效負載引起的運動

更快的工具吞吐量和更高的產量

從3 Hz開始的水平和垂直隔振

共振的最小放大（8-12 dB）

模塊化設計。可升級到Electro-Damp®主動消振

特點：

• 更快的有效負載穩(wěn)定時間。

• LCD和半導體制造和檢測工具的生產率更快、產量更高。

• 在保持高隔振性能的同時，隔振表面有“更硬"的手感。

• 由氣流、噪音以及所產生的“機上"力引起的振動較小。

比較GimbalPiston®、MaxDamp®和UltraDamp™之間的阻尼水平

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